به گزارش خبرگزاری مهر به نقل از ستاد توسعه فناوری نانو، دستگاه لایه‌نشانی اسپاترینگ رومیزی ابزاری ویژه برای ایجاد طیف گسترده‌ای از لایه‌های نازک بر روی بسترهای متفاوت است. با کمک این دستگاه می‌توان مواد مختلف را روی سطح قرار داد مشروط بر این که این مواد بتوانند شرایط داخل دستگاه مانند پلاسما و بمباران یونی را تحمل کنند.
هر ترکیبی که بتواند شرایط دستگاه را تحمل کند به عنوان زیرلایه قابل استفاده است. با این فناوری می‌توان نانوکامپوزیت و پوشش‌های نانومقیاس را ایجاد کرد.
این دستگاه برای ساخت انواع حسگر لایه نازک و سلول‌های خورشید، ادوات اپتیکی، قطعات نانوالکترونیک و میکروالکترونیک قابل استفاده است. همچنین برای آماده‌سازی نمونه به منظور استفاده در میکروسکوپ الکترونی این ابزار را می‌توان به کار برد.
این شرکت دستگاه دیگری به نام دستگاه تبخیر حرارتی رومیزی تولید کرده است. لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی فرآیندی است که در محیط خلاء و به کمک اعمال جریان الکتریکی برای تبخیر ماده منبع صورت می‌گیرد و هدایت و انتقال ماده تبخیر شده به سمت زیرلایه براساس اختلاف فشار میان منبع و زیرلایه صورت می‌گیرد.
در این روش ماده منبع که به عنوان پوشش استفاده می‌شود ( نظیر یک قطعه فلز) در یک ظرف ( بوته) که با نام قایقک یا فیلامان نامیده می‌شود و از جنس فلزات مقاوم است، قرار می‌گیرد.
با عبور جریان برق از بوته و گرم شدن ماده مورد نظر به عنوان منبع و تبخیر آن در خلاء، به دلیل اختلاف فشاری که بین بوته و زیرلایه وجود دارد، یک لایه بسیار نازک روی زیرلایه قرار می‌گیرد.
این دستگاه با مدل DTT در ساخت لایه‌های نازک و رسانای الکتریسیته، ساخت پوشش‌های چند لایه و لایه‌نشانی از فلزات و سرامیک‌ها و نیمه‌رساناها به کار می‌رود.
نظر شما